大連空氣源熱泵

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溫度信號檢側對空氣源熱泵意味什麽?

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溫度信號檢側對空氣源熱泵意味什麽?

發布日期:2018-10-10 00:00 來源:http://www.yunnammy.com 點擊:

  大連空氣源熱泵主要技術表現為兩種:一種是以美國AG、MPT、德國AST等公司為代表的單點測溫技術、熱源為線狀光源(燈管)的雙麵加熱形式,利用紅外熱輻射加熱的原理對矽晶片直接加熱實現。另一種是美國應用材料公司獨特的多點側沮技術、熱源采用點狀光源(燈泡)、單麵加熱形式,球形燈泡發出的光經過高透過率的石英窗口進入反應腔內對位於矽片支排環上的矽片加熱.


  溫度信號檢側是通過多個響應時間非常快的紅外式探針來實時檢測,品片在加熱過程中高速旋轉,使得晶片表麵與反應氣體之間的接觸概率相差無幾。爐料的散熱功能,爐料的散熱功能越好,內部熱量向外丟失越快,熱量很容易就損耗在反響料之外,致使必定點的溫度下降。可是若是反響料的散熱功能欠好,則利於熱量的會聚,使得熱量向外傳遞時刻加長,有利於反響料對熱量的吸收和反響地進行,進步必定點的溫度。


  應都在高真空條件下(4~13Pa)進行,反響溫度1200℃左右,芯溫度很快就能到達所需值,因而反響時刻的長短取決於反響料的厚度,即爐芯外圍反響料到爐體保溫層的間隔。能夠經過規劃爐體尺度操控供電時刻。

大連空氣源熱泵


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